Vente Valve ultra haute Vacuum qui est bon

Valve à vide ultra haute pression Swiss VAT UHV Series

Caractéristiques principales de la série UHV

1. Positionnement du produit

• type: Valve ultra haute Vacuum entièrement scellée en métal

• Gamme de vide applicablePour:

• Édition standard：10⁻⁹ ~ 10⁻ ² mbar

• Version personnalisée: jusqu'à 10⁻¹³mbar (conception spéciale de cuisson)

• Avantages de basePour:

• Zéro fuite: taux de fuite d'étanchéité métallique< 1 × 10⁻¹²mbar = '' > (il détecte les fuites).

• Résistance à la cuisson à haute température: le corps de valve peut résister250°C à 300°CCuisson (version standard) /450°C(version personnalisée).

• Aucune matière organique: structure entièrement métallique pour éviter la pollution par dégonflage.

2. Conception

• Système de double étanchéité: Joint primaire (lame métallique) + joint secondaire (Compensation élastique).

• Entraînement à faible couple: couplage magnétique ou transmission à soufflet pour éviter les fuites d'étanchéité d'arbre.

• Pureté des matériaux: acier inoxydable 316L (polissage électrolytique de classe EP), rugosité de surface < 0,8 μm. < >

II. Classification des modèles et paramètres techniques

1. Règles de désignation du modèle (avec TVA UHV 24 comme exemple)

2. Tableau comparatif des sous - Modèles

3. Paramètres techniques détaillés

Iii. Scénarios d'application typiques

1. Fabrication de semi - conducteurs

• ApplicationPour:

• Isolation de la cavité de la machine de gravure / machine d'implantation ionique (anti - pollution par les particules).

• Maintien sous vide ultra - élevé des systèmes d'épitaxie par faisceau moléculaire (MBE).

• Modèle recommandéPour:

• TVA UHV 24 - A (dn40, isolation rapide pneumatique).

2. Appareils de recherche scientifique

• ApplicationPour:

• Contrôle de la ligne de faisceau de la source de rayonnement synchrone.

• Segmentation sous vide d'un dispositif de fusion nucléaire tel qu'un Tokamak.

• Modèle recommandéPour:

• TVA UHV 54 - M (dn100, étanchéité manuelle fiable).

3. Espace et revêtement

• ApplicationPour:

• Test d'étanchéité sous vide des réservoirs de stockage d'ergols pour satellites.

• Régulation de pression de cavité pour machine de revêtement optique.

• Modèle recommandéPour:

• TVA UHV 10 - E (dn16, commande électrique de précision).

Iv. Options et points d'installation

1. Facteurs clés de sélection

• Besoins en diamètre: calculé à partir du débit (par exemple, la paire dn40 devrait être d'environ 20 L / S @ 10⁻⁶ mBar).

• Mode de conduitePour:

• pneumatique: interrupteur rapide (convient pour une isolation sûre).

• électrique: peut intégrer le contrôle automatique (par exemple, PLC).

• Norme de bridePour:

• Brides CF: vide ultra - élevé (joint métallique).

• Brides ICF: exigences minimales de débit de fuite (par exemple 10⁻¹³mbar).

2. Spécifications d'installation

• Exigences de nettoyagePour:

• Nettoyer la bride avec de l'acétone / alcool avant l'installation (porter des gants sans poussière).

• Contrôle de couplePour:

• Les boulons de bride CF doivent être serrés pas à pas en diagonale (dn40 recommande 8 ~ 10 nm).

• Suggestions de cuissonPour:

• Montée en température à 250°c à une vitesse de 10°C / min et maintien au chaud pendant 48 heures.

V. maintenance et traitement des pannes